




高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同。
例如对于氮,氢,---而言,工业---,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;
而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;
对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、、---可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的---。
空气分离是工业上常见的气体制备方法,通过空分设备把空气中的各组份气体分离,生产氧气、氮气和气,还有稀有气体气、气、气、氙气等。
稀有气体的生产涉及到空气、、合成氨尾气及核---裂变气等多种气源。虽然涉及面较广,高纯---,制取的工艺流程又多种多样,---多少钱,但就其制取的基本原理来说,都是利用各种稀有气体及其伴随杂质的物理、化学特性的差别。
目前在工业上具体应用的物理方法,例如分凝、、精馏、洗涤(物理吸收)、吸附、薄膜渗透和扩散单元操作
稀有气体提取设备的调平、配管和试压等应按本章相应各节的有关规定执行。
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